Institut für Mikro- und Informationstechnik

Leitung
Prof. Dr. Holger Reinecke (Sprecher),
Prof. Dr. Yiannos Manoli,
Prof. Dr. Roland Zengerle

Schwerpunkt
Mikrotechnische Komponenten und Systeme im Bereich Sensorik und Mikrofluidik, Systemintegration

Kompetenzfelder

  • Strömungssensoren
  • Taupunktsensoren
  • Inertiale Sensorsysteme
  • Energieautarke Systeme
  • Mikrodosiersysteme
  • Lab-on-a-Chip
  • Mikromedizin
  • 600 m2  Reinraum Klasse 10-100
                  - Wafertechnologie
                  - Spezialanwendungen

Kooperationspartner
Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK)
der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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